Poids de l’Open access dans la production CNRS
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Titre
Virtual Metrology applied in Run-to-Run Control for a Chemical Mechanical Planarization process
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BSO - Titre
Virtual Metrology applied in Run-to-Run Control for a Chemical Mechanical Planarization process
XX
DOI
DOI
10.1088/1742-6596/783/1/012042
XX
DOAI
DOAI
10.1088/1742-6596/783/1/012042
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Identifiant WoS
WOS:000399400800042
XX
Accès ouvert
OA - Oui
XX
Source - Accès ouvert
OA - Non
XX
Type d'accès
Editeur
XX
Editeur
IOP Publishing
XX
Source
EUROPEAN WORKSHOP ON ADVANCED CONTROL AND DIAGNOSIS (ACD 2016)
XX
ISSN
1742-6588
XX
Type de document
Meeting Abstract
XX
Notoriété
0 - Sans notoriété
XX
CNRS
Oui
XX
CNRS - Institut
INS2I - Institut des sciences de l'information et de leurs interactions
XX
uid:/KXFQSFJK
12/10/2021 14:52:40 (latest)
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